“目前，干法刻蚀工艺主要是离子铣刻蚀、等离子刻蚀和反应离子刻蚀三种方案。”

“而这三种方案，离子铣刻蚀最为简单，可控性也比较高，技术成熟度也很高，相关的专利其实也已经被申请的差不多了，想要弯道超车，避开西方的专利壁垒，这个方案非常的难。”

“除此之外，这个方案也有技术本身的缺点，那就是刻蚀选择性极差，必须采用专门的刻蚀终点检测技术，并且刻蚀速率也比较低，性比价相当低。”

“而等离子刻蚀，虽然通过选择和控制放电气体的成分，可以得到较好的刻蚀选择性和较高的刻蚀速率，但是刻蚀精度却并不高，一般只能运用在大于4-5微米线条的工艺之中。”

“而我们实验里正在进行的项目，就是王总设计的反应离子刻蚀方案！”

陈凌岳一边介绍着，一边带着尹之耀等人朝着刻蚀方案项目区域而去。

听到陈凌岳这么介绍，尹之耀的神情并没有多大的变化。

论文他已经看过了，虽然有些吃惊王东来的动作迅速，直接就在自己的实验室进行验证，但如果只是这样的话，也只能算是一般，中规中矩。

尹之耀的心里想法，其实不仅是王东来能看出来，陈凌岳也能看出来。

一路无话，很快就到了地方。

作为刻蚀行业沉浸几十年的大佬，尹之耀心里不断地评价着这座实验室。

“看来银河科技还是很舍得在这方面投入的！”

等到见到实验项目的时候，尹之耀就变得无比认真起来。

眼睛一眨不眨地看着仪器。

现代的干法刻蚀设备包括复杂的机械、电气和真空装置，同时还配备有自动化的刻蚀终点检测和控制装置，价格昂贵，很少有实验室会完全配备。

而现在，尹之耀的面前就有这些仪器。

这些仪器，目前也经过人为的修理调整，用来验证王东来的反应离子刻蚀方案。

说实话，这些仪器如果不是陈凌岳加入银河科技的话，恐怕还需要大半年的时间甚至更长时间才能凑齐。

至于反应离子刻蚀的原理倒也算简单。

这种刻蚀过程同时兼具物理和化学两种作用，辉光放电在零点几到几十帕的低真空下进行，硅片处于阴极电位，放电时的电位大部分降落在阴极附近，大量带电粒子受垂直于硅片表面的电场加速，垂直入射到硅片表面上，以较大的动量进行物理刻蚀，同时它们还与薄膜表面发生强烈的化学反应，产生化学刻蚀作用。

选择合适的气体组分，不仅可以获得理想的刻蚀选择性和速度，还可以使活性基团的寿命短，这就有效地抑制了因这些基团在薄膜表面附近的扩散所能造成的侧向反应，大大提高了刻蚀的各向异性特性。

反应离子刻蚀也是超大规模集成电路工艺中很有发展前景的一种刻蚀方法。

王东来当时在构思方案的时候，原本是想着弄出一份离子蚀刻方案就行了，但是在【大脑超频】的状态下，灵感无数，便研究出了一份全新的反应离子刻蚀方案。

在设计好之后，便发给了陈凌岳，让他在实验室里进行验证。

经过差不多两天的设备调校，今天便是验证的时间了。

操作人员再三检查无误之后，陈凌岳便下令开始验证起来。

“嗡！”

机器轻轻地嗡鸣地响了起来，顿时就见到仪器开始运动起来。

这一刻，尹之耀恨不得把自己的眼睛摘下来放到上面去看，免得错过任何一点关键信息。

不得不说，在面对这方面的时候，尹之耀表现出来的热爱，极为真诚和热烈。

王东来和陈凌岳等人见到尹之耀这样的表现，心里也不禁对尹之耀生出了一丝钦佩。

毕竟这么大岁数的人了，还能对技术保持这样的心态，属实是很不错了。

单单只是一個刻蚀流程，其实并不需要耗费多长时间。

所以，很快仪器就停了下来。

而尹之耀则是第一时间，想要进去看看结果如何，便看向王东来准备出声征求意见。

不等尹之耀说出口，王东来便点了点头，说道：“尹总是这方面的专家，可以检查一下！”

王东来充满自信，丝毫不怕会出什么问题。

尹之耀也不客气，点了点头，立即就走了进去，开始检查起来。

而越看，尹之耀越是惊叹。

作为沉浸这一行几十年的老专家，在他手上其实也研发出来过不少先进的刻蚀方案。

按理来说，其实面对王东来设计出来的这一份刻蚀方案，不应该这么激动和看重。

但实际上并不是这样。

因为一个很简单的道理，技术越往后发展，所受到的掣肘也就越大，需要避开的东西也就越多。

刻蚀方案已经出现过了那么多种，后来人想要避开，所需要的知识储备就要更多，设计也就需要更加精妙。

看了王东来的论文之后，尹之耀已经认定王东来是这方面的天才了。

并且，论文里面透露出来的信息，也让尹之耀充满了期待。

所以，此刻尹之耀可以说是用出了自己最大的精力来观察，来检查。

足足检测了半个小时。

放下成品后，尹之耀的眼神无比明亮。

因为他已经确定了，王东来的这份蚀刻方案确实是合格的，甚至是优秀。

完全不像是一个刚刚出现的设计方案，更像是运行多年的成熟方案，根本毫无挑剔之处。

完美！

只能用这个词来形容。

心里给出判断之后，尹之耀既是兴奋，又是紧张起来。

兴奋在于通过这份设计方案，他可以很明确地说，刻蚀装备国产化已经没有多大的问题了。

而紧张在于，王东来表现的能力，让他这个中威公司的老板开始有些担忧自家公司的发展情况了。

毕竟，他已经知道王东来的银河科技将会在半导体行业进行发展。

有这样的领头羊攻坚克难，将会发生什么样的结果，他可是太清楚不过了。

因为当初，他也是这样过来的。

“尹总，你觉得如何？”

王东来走过来，笑着出声问道。

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