光刻机联合研究中心。

苏远山是被郑振川一个期期艾艾的电话直接给叫到这边来的——在电话中，郑振川只是说光源小组和硅谷的林本坚团队出现了摩擦。

当时把苏远山吓得够呛，下楼抢了一辆自行车就往光源实验室赶去。

不过当听到所谓的摩擦后，他微微松了口气。

……

“意思是林本坚那边说，根据他的技术直觉，KBBF晶体无法用在DUV光源之上？”苏远山望向赵凯东问道。

赵凯东正在一根一根地抽着烟，点了点头：“是的，但国外已经出现了KBBF的倍频技术……我们这边也有所突破了。”

苏远山抿了抿嘴，深深地皱起了眉。他知道，KBBF现在是可以出口的，而且国家甚至还大力提供……希望与国外共享技术。

“老林那边就一个直觉吗？”

“不是……是目前已有的光源来看，KBBF晶体不足以满足光刻机的持续、大功率激光输出。”赵凯东望向苏远山：“但我们相信……大功率肯定是能的。”

苏远山轻轻叹了口气：“我当然也相信……”

苏远山知道，后世KBBF是一直没有用在光刻机上的——或者说，加个主流。当初他让赵凯东搞KBBF，也是怀着侥幸，希望能够从KBBF上完成突破，从而一举打破193纳米的桎梏，再加上浸润式，到时候就能很轻易地靠着DUV就下探到5nm制程之下。

现在被林本坚这个光学大师级人物直接反对了，苏远山一时半会还真不知道怎么判断了。

不过有一点他是相信的，就是KBBF的技术肯定有用——大功率激光器了解一下。

沉吟许久后，苏远山轻声道：“这样，老林那边的团队……因为投入有限，同时也要考虑到极端条件下的政策因素。所以我们不能把鸡蛋放在一个篮子里，这边还是用两条腿走路的形式。”

“马上校招季到了，远芯这边也招一批搞光学的研究生进远芯，你们也往上面申请一下。”

赵凯东也轻轻叹了口气。

他作为搞技术的，当然是看到技术，看到困难就要突破。但也他知道苏远山为难，如果搞到最后KBBF真不能用在光刻机上，那苏远山投入的钱可就真打水漂了……

远芯怎么说都是个企业，在明确有大佬提出此路不通的时候再硬着头皮冲，而不是谨慎一点，这可不是搞企业的好习惯。

“行，那我们两条腿走路。”

“嗯，那就拜托赵叔了。”

苏远山说着又回头对郑振川道：“郑叔，你们这边情况如何？”

“我们这边挺好，订购的零部件都已经通过了，估计三个月内就能完全到齐。”相比赵凯东，郑振川这边的心情要好许多，他这边设计的光刻机采用的是紫外光，理论上是可以搞定0.5微米制程的。

听到这里，苏远山心情也好了不少：“万里长征第一步出来了。”

“嗯啊，这也才是第一步……我不求能达到量产质量，只求能稳定运行就行了。”郑振川笑道。

远芯从成光所拖过来的光刻机，确实有点一言难尽。在经过不断的调试之后，它倒也能勉强完成它的使命——能够造出1微米制程的元器件了。

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