沪州微电子一点儿都不缺业务,哪怕造不出顶尖的光刻机,就算是中低端的光刻机也是生产一台就能卖出一台,根本就不愁。
就拿SSA600系列前道制造光刻机来说,沪州微电子一年的产能也就四五十台而已。
原本晶圆厂要购买光刻机,尤其是90nm精度的SSA600系列,那订单是需要很长时间的预约排队的,但这次,沪州微电子很积极,苏父下完订单之后次日就有工程师联系了。
这就是实力的作用。
沪州微电子肯定也知道光芯科技现在是“辅脑”主芯片的代工厂,他们甚至了解到翟竖现在就在锡州,真的就是圈子之内没有秘密。
光刻机的购买当然有专门的人去谈,而翟竖的任务就是跟一同前来的一种工程师们了解情况。
沪州微电子似乎是知道翟竖有这个打算,光是工程师就来了几十个,甚至还有参与研发新型号SSA800系列样机的顶尖工程师。
一间不小的会议室都被挤得满满当当的,这些人还都带着自己的笔记本,甚至各种资料都准备的很齐全。
……
“我们现在最大的问题就是稳定性,SSA800系列已经制造了三台样机,但一言难尽,三台样机各不相同。”
当翟竖问道SSA800系列现在遇到的困难的时候,原以为这些工程师们不会回答,毕竟设计未发布产品的机密。
但今天,他们好像没有把翟竖当外人似的,一股脑的把所有的问题全都说出来了:
“看似完全一样的光刻机,在试产中的表现可谓是千差万别,好的那台,实验室生产良率能够达到80%,但另外两台,良率最高就只能达到二三十,我们甚至请了台积电的顶尖专家来帮助我们打造实验室产线,但效果也没有明显提升。”
现代超大规模集成电路芯片的制造,那无疑是一个非常复杂非常精密极为高端的工作。
仅就光刻这个过程而言,就有着非常复杂且繁琐的步骤。
简单说来,芯片制造的过程就是将IC设计厂商发来的一层一层又一层的IC设计“光罩图”中的电路图转移到晶圆上。
形象的说,整个过程其实和老式的洗照片的的工艺非常的相似,当然,精密度完全不是一个级别的,相差了有十万八千里吧。
芯片制造的过程,最复杂也莫过于光刻,也就是把图像从掩膜版转移到晶圆上的这一过程。
这一过程十分复杂,总结起来,大都包含如下十个步骤,也就是光刻的十步法:
清洗并甩干晶圆表面、涂光刻胶、软烘焙加热光刻胶部分蒸发、精确对准掩膜版与晶圆并曝光光刻胶、祛除非聚合的光刻胶、硬烘焙光刻胶溶剂继续蒸发、检查表面的对准和缺陷、刻蚀、祛除光刻胶然后进行最终检查。
这其中每一个步骤都必须精密细致,任何一点的瑕疵都可能导致工艺的良率降低,甚至是直接失败。
翟竖也听出来了,沪州微电子的工程师们还真是怨念满满,这么多的流程,现在出了问题,出在哪个环节都不知道。
就算品质较好的那台试验品,实验室也只有百分之八十的良品率,那真要是生产环境呢?
肯定会更低吧,实验室可以不计代价的打造试验产线,但工厂要评估建设成本,肯定不能那么做。
不过……
翟竖略一思虑,整个人瞬间就精神了,能造出一台来,实验室能够试生产,那证明设计方案和思路是没有问题的。
至于为什么良品率差距这么大,这不重要,重要的是有与无的问题,剩下的都可以慢慢来。
193nm的准分子激光光源,28nm的光刻精度,按照台积电的经验,通过多重曝光等技术已经完全可以制造7nm制程的芯片了!
当然,那是台积电,大陆企业即便是用同样的光刻机也做不到这一点,同样的DUV,台积电能做到7nm,亚芯国际14nm晚了好些年才勉强能量产。
想到这儿,翟竖又暗暗的把从台积电挖人的心思加深了一下,不过现在不是说这个的时候。
“我提一个建议,我们是不是能够建立一个合作同盟关系?”翟竖提议:
“光芯科技可以以量产的标准帮助你们实验新的光刻机产品,就包括这次的SSA800系列。良品率低,只有百分之二三十,一般的代工厂肯定不愿意建立这样的产线,但我们不介意。
“未来,乚亅(豪爵)对高端芯片的需求会非常大,我们的处境也没什么好隐瞒的,国外的产能靠不住,我们必须使用国产化的产线。
“乚亅(豪爵)的产品跟一般的产品不一样,像海思,如果芯片价格达到十倍,那消费者肯定受不了。但我们的产品就算十倍二十倍的价格出售,那也是绝对不用发愁市场的。
“这对于我们来说也是双赢不是?在生产中寻找问题,能够有这样的机会,对于贵公司来说也是极为有益的一件事儿。
“你们觉得我这个提议怎么样?”
“啊?”
工程师们面面相觑,他们的接到的任务是全力配合翟竖,但现在翟竖的提议显然超出了工程师的范畴,所有人都看向带队的领导,沪州微电子常务副总。
副总从开始到现在一句话也没有说过,但他显然知道的更多一些——一家企业采购光刻机,给予插队不说,还让常务副总带着几十人的工程师团队来到锡州。
常务副总如果还觉察不出里边的味儿,那他这大半辈子算是白活了,也做不到这个位置。——这么大阵势,就是冲着翟竖来的,这点敏感度性他肯定有。
他点了点头:“这个提议很好,我虽然不能立即给你肯定的答案,需要回去汇报,但我觉得,应该没有问题。至少,SSA800给你们一台是有把握的。”
“嗯,那就让光芯科技与贵公司一道努力,解决SSA800的问题,填补国内28nm级别光刻机的空白。后续,也希望能够在极紫外光刻机(EUV)的制造中有机会继续合作。”
能够搞到一台SSA800,再加上配套的工程师们,再再加上从未来从台积电挖来的高级制程工艺方面的工程师,再再再加上自己,翟竖觉得肯定能解决不少的问题。
“好,合作愉快!”常务副总心里也很愉快。
EUV什么的他没压根没想,但28nm在这里兴许真的能成。
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